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更新时间:2021-06-02
厂商性质:经销商
YES-EcoCoat集成的等离子体功能通过三个独立的MFC控制的过程气体输入来实现。 灵活的腔室搁板/电极允许从晶片(200/300 mm)到载玻片和3D热塑设备使用各种各样的基板形状因子。
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