SPS旋涂仪坚固的自弹式盖铰链，可自动将盖保持在好状态，以便轻松搬运和卸下基板；同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口

LEBOEZ6旋涂仪耐用的不锈钢机身，具有耐化学腐蚀的透明旋转盖，基板尺寸：从1厘米到6英寸晶圆