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手动等离子清洗刻蚀系统

描述:手动等离子清洗刻蚀系统对于清洁,剥离和表面改性,等离子体是有毒化学物质的有效替代品,并且在表面上没有残留溶剂。

更新时间:2021-03-18
产品型号:YES–G1000
厂商性质:经销商
详情介绍

YES–G1000手动等离子清洗刻蚀系统对于清洁,剥离和表面改性,等离子体是有毒化学物质的有效替代品,并且在表面上没有残留溶剂。 副产物是惰性的并且对环境安全。 G1000的工作频率为13.56MHz,用户可以从5种等离子模式中进行选择。 各向异性模式包括RIE和有源离子阱; 各向同性模式包括下游(无电子),有源和下游离子阱。

•13.56 MHz的射频等离子体
手动等离子清洗刻蚀系统低压环境
•下游侵蚀性等离子体
•温度监控器
•3个气体输入
•气体输入可包含更多深奥气
体,例如合成气,CF4和SF6

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