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YES–PB Series

描述:YES–PB Series更快的流程:3.5小时vs 8个小时以上,层流减少/消除了颗粒,大大降低了资本成本,降低了2-3倍的运营成本

更新时间:2021-06-02
产品型号:
厂商性质:经销商
详情介绍

真空固化的优势
•更快的流程:3.5小时vs 8个小时以上
•层流减少/消除了颗粒
•更彻底的固化(排气量减少5倍)
•减少膜应力,降低晶片翘曲
•功耗和N2消耗减少1.6到2倍
•大大降低了资本成本,降低了2-3倍的运营成本

PB8: 多2个200mm晶圆盒
PB12: 多2个300mm晶圆盒

技术参数

硬件
洁净室相容性:10级
箱体清洁度:1级
晶圆尺寸:大200mm
容量:每批多可容纳50个8英寸晶圆(两个25个晶圆盒)
工作温度:环境温度450°C
氮气流量:1 SCFM
耗氮量:15-25升/分钟。
内腔尺寸:36.62厘米(内径)x 66.52厘米(深)—(14.42“ x 26.19”)
腔室处理面积:23.95厘米(宽)x45.97厘米(深)x24.69厘米(高)—(9.43“ x
18.10”x 9.72“)
系统整体尺寸:68.96厘米(宽)x145.92厘米(深)x 77.87厘米(高)—(27.15“
x 57.45”x 30.64“)
控制台尺寸:59.44厘米(宽)x 96.01厘米(深)x 23.62厘米(高)—(23.4“ x
37.8”x 9.3“)
箱体材质:316L不锈钢
工艺气体输入:1个标准,多3个可选
质量流量控制器:可选–多3个用于气体混合
层流过滤器:100微米Mott™板式过滤器
清洁度:减少大多数应用中的颗粒
软件
配方数:8种温度曲线
每个配方的步数:16个程序步
分段时间范围:0-99小时
定时器设定分辨率:1分钟
性能
温度均匀性:所有温度点稳定15分钟后,在保压期间保持±5°C
平均升温速度(150°C-450°C):5°C / min。 空箱负荷
平均冷却速度(450°C-150°C):4°C / min。 空箱负荷
氧气浓度:本底超过10 ppm
配件
电源要求:208V,40 A,50/60 Hz,3相
重量(约):575磅(261公斤)

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