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SPS旋涂仪

描述:SPS旋涂仪坚固的自弹式盖铰链,可自动将盖保持在好状态,以便轻松搬运和卸下基板;同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口

更新时间:2021-06-02
产品型号:
厂商性质:经销商
详情介绍

1、SPS旋涂仪结构
* NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蚀结构)为整个系统提供更好的刚性和韧性
*高品质无缝制造表面,全工程塑料
*适用于通风柜和杂物箱
*大处理室直径:202毫米

   *尺寸(台式版):27.5 x 45.0 x 25.0厘米(宽x深x高)

2、数字电机控制:
*具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈
*提供高精度的转速(±0.1 rpm)和宽范围的转速(1至12,000 rpm),这是传统PID电机控制器无法实现的

    *允许具有广泛旋转速度参数的用户以更安静的方式进行工作/实验,系统高速运行时更稳定,振动更少

3、透明盖:
淬火的透明玻璃瓶盖,带有注射器支架和N2扩散器,可在处理过程中进行N2吹扫
*注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质
*控制室环境对于恒定的过程结果至关重要
*坚固的自弹式盖铰链,可自动将盖保持在好状态,以便轻松搬运和卸下基板;同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口
*透明盖清晰可见内部

   *可手动分配

4、SPIN150i旋涂仪安全联锁:
*Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定,并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开
*电磁盖联锁在打开时停止旋转,而真空联锁(可编程)在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转
*防止伤害使用者并避免基材破裂

    *具有CE标志和过载保护的电气安全

5、连接:
*三个可编程继电器输出,可用于操作自动分配系统,外部阀或其他附件。
*多种夹头可供选择,用于直径大为160 mm的不同尺寸的基板
*制氮过程中的氮气扩散器
6、可拆卸控制器:可拆卸的全尺寸触摸屏,手套防护,IP 52,耐化学腐蚀
7、彩色触摸屏显示:可轻松编程速度,加速度和时间
8、无限程序存储:可用于多个步骤的配方,每个配方均适用于:
*时间:0.1至99999秒/步
*速度:0至12,000 rpm
*旋转方向:顺时针,逆时针,搅动
*加速/减速:1至30,000 rpm / sec(每步可选)
*真空开/关
*3个可编程的干触点:例如用于分配单元,氮气扩散器等的自动控制
9、USB端口:可轻松上传和下载配方以及更新软件版本
10、存储:结构化和受密码保护的方案存储,可轻松安全地进行管理

SPS旋涂仪技术参数

大样品尺寸: 160mm
大腔体直径: 202mm
伺服控制马达
程序数字处理控制器:
存储50个程序,每个程序可设计99步菜单指令
转速 1-12000 rpm
天然聚丙烯材质,对强腐蚀的化学试剂可选用聚四氟乙烯材质的匀胶机
配有防污染内衬,标配两个大小吸盘
仪器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm

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