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LEBO EZ6旋涂仪

描述:LEBO EZ6旋涂仪耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盖,基板尺寸:从1厘米到6英寸晶圆

更新时间:2021-06-02
产品型号:
厂商性质:经销商
详情介绍

其他:

1、包括三个真空旋转卡盘
2、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料
3、耐化学腐蚀HDPE旋转碗
4、耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盖
5、4.3”触摸屏界面
6、基板尺寸:从1厘米到6英寸晶圆
7、转速范围:100-12000 RPM
8、转速分辨率:1RPM
9、加速范围:空载100-30000 RPM / s
10、安全:真空联锁和旋转盖联锁

LEBO EZ6旋涂仪技术参数

1、旋涂基材6英寸或更小
2、包括三个真空旋转卡盘
3、用于手套箱的占地面积小
4、易于使用的触摸屏界面
5、可编程旋涂工艺
6、
LEBO EZ6旋涂仪耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料
7、耐化学腐蚀HDPE旋转碗
8、耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盖
9、4.3”触摸屏界面
10、基板尺寸:从1厘米到6英寸晶圆
11、转速范围:100-12000 RPM
12、转速分辨率:1RPM
13、加速范围:空载100-30000 RPM / s
14、程序:10个旋转程序,每个程序有10个步骤
15、安全:真空联锁和旋转盖联锁
16、尺寸:270(W)*387(D)*258(H)

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